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平面度(平直度)是密封環(huán)很重要的一個(gè)質(zhì)量指標(biāo)，要求在0.9um 以內(nèi)。密封端面平面度的檢測，通常是利用光波的干涉效應(yīng)來測量。可以用質(zhì)量非常高的激光干涉儀或光學(xué)平晶來進(jìn)行測量。前者屬非接觸量法，后者屬接觸量法。光學(xué)平晶價(jià)格便宜，因而被廣泛采用。
光波干涉測量法所用的平面平晶是利用派利克斯玻璃、熔凝水晶或折光系數(shù)為1.516的光學(xué)玻璃制造，使之成為具有平直工作端面的透明圓柱體。所用的光源常采用單色光源，如鈉光燈。檢測時(shí)，將平晶放到被檢的密封端面上，斜上方用鈉光燈照射檢查干涉條紋的數(shù)量。
鈉光的波長0.589mm，每條干涉帶相當(dāng)于平晶與被測表面間有半個(gè)波長的距離。即一條干涉條紋為0.29um，由干涉條紋的數(shù)量即可確定密封端面的平面度。

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